Leitfähige Beschichtungen

Laser Pockels-Zellen mit kombinierter ITO- und Antireflex-Beschichtung sowie gesputterten Goldelektroden
Mit ITO beschichtetes Glas

Substrat mit Heiz-Mäander

Beispiel: Multilagen ITO-Quarz-ITO, 120 nm, gemessen mittels XRR
Beispiel: GID-Messung einer ITO-Beschichtung nach dem Beschichtungsprozess (violett) und nach dem Tempern bei 300°C (rot)

Wir versehen von unseren Kunden beigestellte Fenster oder Substrate mit Beschichtungen mit vordefinierten Schichtwiderständen.

Beschichtungen für Quantenoptische Geräte

Wir sind darauf spezialisiert, höchst anspruchsvolle Prototypen wie z.B. Bauteile für quantenoptischen Gerätschaften mit wohldefinierten leitfähigen Schichten zu versehen. Zur Beschichtung flacher Substrate oder komplexer 3D-Geometrien setzen wir dabei Gold-, Kupfer- oder Aluminium-Beschichtungen ein.

Indium-Zinn-Oxid (ITO) Beschichtungen

ITO beschichtetes Glas bietet eine hohe Transmission im sichtbaren Bereich und eine neutrale Farbe bei einer gleichzeitig hohen elektrischen Leitfähigkeit.

Aufgrund dieser erstaunlichen Eigenschaften von ITO-Beschichtungen können Substrate für Optiken, Bildschirme und Fenster mit einer durchsichtigen hoch leitfähigen Beschichtung versehen werden.

Eine Anwendung ist die Beschichtungen von Displays und Bauteilen für die OLED-Technologie.

Eine andere Anwendung ist die Beschichtungen von Fenstern für optischen Hochleistungssysteme und Messgeräte. Mittels der aufgebrachten ITO-Beschichtung, kann ein elektrischer Strom über die Fensteroberflächen geleitet werden, der dazu dient, eine definierte Erwärmung zu erreichen und damit das Beschlagen der Optik durch Luftfeuchtigkeit zu verhindern.

Folgender Graph gibt die Abhängigkeit zwischen Schichtwiderstandes und Schichtdicke der unter Raumtemperatur abgeschiedenen ITO-Beschichtung wieder:

Abhängigkeit des Schichtwiderstandes von der Schichtdicke von unter Raumtemperatur abgeschiedenem ITO (ohne Annealing)

Eine weitere Anwendung ist die ITO-Beschichtung sogenannter Pockelzellen, die in der Lasertechnik eingesetzt werden. Dabei sorgt die leitfähige ITO-Beschichtung dafür, dass in einem Kristall ein elektrisches Feld an und ausgeschaltet werden kann, was wiederum auf die Ausbreitung des Laserlichtes wirkt. Die Kombination der ITO-Beschichtung mit einer Antireflex-Beschichtung sorgt dafür, dass das Laserlicht beim Durchgang durch den schaltbaren Kristall kaum abgeschwächt wird.

Folgender Graph zeigt die Transmissionskurze solch einer kombinierten ITO/Antireflex-Beschichtung:

Transmissionskurve einer kombinierten ITO- und Antireflex-Beschichtung, optimiert auf 800 nm mit T>99%.